รายละเอียดโครงการวิจัย รหัสโครงการ : MRG4980134 ชื่อโครงการ : สมบัติเชิงโครงสร้างและความแข็งระดับนาโนของฟิล์มบางเซอร์โคเนียมไททาเนียมไนไทร์ดที่ปลูกโดยวิธีดีซีรีแอกทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริง Structural Properties and Nanohardness of ZrTiN Thin Films Grown by D.C. Reactive Magnetron Sputtering หัวหน้าโครงการ : สตรีรัตน์ โฮดัค (กำแพงแก้ว) : [งานวิจัยที่เกี่ยวข้อง (3 โครงการ) ] ทีมวิจัย : สตรีรัตน์ โฮดัค (กำแพงแก้ว) หัวหน้าโครงการ สุคคเณศ ตุงคะสมิต นักวิจัยที่ปรึกษา วันที่เริ่มโครงการ : 1 ก.ค. 2549 วัตถุประสงค์ : 1. ศึกษาผลของตัวแปรในกระบวนการปลูกฟิล์มบาง ZrTiN โดยวิธีดีซี-รีแอกทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริง (D.C. reactive magnetron sputtering) 2. วิเคราะห์ความสัมพันธ์ระหว่างความแข็งเชิงนาโนที่มีต่อสมบัติเชิงโครงสร้าง องค์ประกอบทางเคมี และ พารามิเตอร์ที่ใช้ในการปลูกฟิล์ม 3. ศึกษาแนวทางในการประยุกต์ใช้ ZrTiN ในเชิงอุตสาหกรรม สถิติการเปิดชม : 899 ครั้ง ดาวน์โหลด : 55 ครั้้ง แจ้งปัญหาการดาวน์โหลดที่นี่ (* หากไม่สามารถดาวน์โหลดได้) รายงานวิจัย ฉบับสมบูรณ์: รายงานวิจัยฉบับสมบูรณ์ (Full Paper) บทคัดย่อ (Abstract) : แสดงบทคัดย่อ เลือกดาวน์โหลดแบบลิงค์ :